我们供四川绵阳贵阳广元无锡光刻机

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品牌/型号

南光

一、适用范围

适用于Φ100mm以下，厚度为5mm以下各种基片的光刻。（包括非常规基片、碎片及表面不平整基片）

二、主要技术指标

1、对准精度：±0.5μm。

2、微动台扫描范围±20mm，X、Y可调范围±4mm。

3、承片台上下可移动范围为5mm，旋转角度为90°。

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四川南光泵业有限公司主营产品：
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