四川南光泵业有限公司
主营产品:
2023年06月26日 12:14
一、适用范围
适用于Φ150mm以下,厚度为5mm以下各种基片的光刻。(包括非常规基片、碎片及表面不平整基片
二、主要技术参数:
1、适用于Φ6"、Φ5"、Φ4"基片,基片厚度0~5mm均可。
2、采用多点光源曝光头,输出光束≥Φ160mm;光束不均匀性≤±7%,(Φ150mm范围内)。
3、光源采用350W直流汞灯。
4、版、片对准精度±0.5μm。
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