磁控溅射镀膜机

此款小型磁控溅射镀膜机具备以下几个优点：

1、目前高校包括研究所的实验室面积都比较紧张，所以此款小型磁控溅射镀膜机紧凑的设

计更为合适；

2、配置3个3英寸可调节高度及角度的电控挡板磁控溅射靶（可选择高磁靶可镀铁、镍

等磁性材料）；

3、配置1个4英寸可旋转、可加热、可加装偏压电源的样品台；

4、配置离子活化装置；

5、配置内隔板便于清理和带挡板的观察窗；

6、配置腔室烘烤加热装置；

7、配置高真空获得及测量装置；

8、配置膜厚实时监控测量装置；

配置3路质量流量计充气系统。