英福康Bayard-Alpert Pirani 真空计 一级代理商

INFICON Bayard-Alpert Pirani 复合真空计 BPG402-S 将 Bayard-Alpert 和 Pirani 两种真空计的功能融合入单个紧凑型装置中，测量范围为 5 X 10-10mbar至大气气压（3.8 x 10-10Torr 至大气气压)。

多项技术相结合降低了安装、设置和集成的复杂性。

为负担不重且可重复的过程选择带有双氧化钇铱丝的 BPG402-S，以经济高效的方式执行基本压力测量。

传感元件带有板载校准数据，保证更换传感器时的高再现性。

优势

*从 5 x 10-10mbar 至大气气压（3.8 x 10-10Torr 至大气气压）的极其宽泛的测量范围

10-8- 10-2mbar 过程压力范围内低至 5% 的优良的可重复性。Pirani 联锁保护丝极，防止过早烧毁双长使用寿命氧化钇铱丝备有可选的图形显示器和现场总线接口高真空Pirani 自动调节，减少操作员的干预传感元件带有板载校准数据，易于更换，可保证高再现性

应用

对半导体过程和传输腔室的压力测量工业镀膜低真空至超高真空范围内的一般真空测量和控制