上海伯东代理美国原装进口 KRI 霍尔离子源 eH200

KRI 霍尔离子源 eH 200

上海伯东代理美国原装进口 KRI 霍尔离子源 eH200 是霍尔离子源型 eH 系列中尺寸*小, 低成本设计离子源. 霍尔离子源 eH200 适用于小型真空腔内, 例如研发分析, 薄膜沉积和离子清洗. 霍尔离子源 eH200 操作简单是理想的生产工具.

KRI 霍尔离子源 eH 200 技术参数：型号eH 200供电DC magnetic confinement- 电压40-300V VDC- 离子源直径~ 2 cm- 阳极结构模块化电源控制eHx-3005A配置-- 阴极中和器Filament or Hollow Cathode- 离子束发散角度> 45° (hwhm)- 阳极标准或 Grooved- 水冷无- 底座移动或快接法兰- 高度2.0'- 直径2.5'-加工材料金属

电介质

半导体-工艺气体Ar, Xe, Kr, O2, N2, Organic Precursors- 安装距离6-24”- 自动控制控制4种气体* 可选: 可调角度的支架; Filamentless; Sidewinder

KRI 霍尔离子源 eH 200 应用领域：

溅镀和蒸发镀膜 PC

辅助镀膜(光学镀膜)IBAD

表面改性, 激活 SM

直接沉积 DD

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上海伯东: 罗女士