上海伯东代理美国原装进口 KRI 考夫曼离子源 KDC 160

KRI 考夫曼离子源 KDC 160

上海伯东代理美国原装进口 KRI 考夫曼离子源 KDC 160是目前考夫曼 KDC 系列*大,离子能量*强的栅极离子源, 适用于已知的所有离子源应用, 离子源 KDC 160 高输出设计,*大电流超过 1000 mA. 无需水冷, 降低安装要求并排除腔体漏水的几率, 双阴极设计,标准配置下离子能量范围 100 至 1200ev, 离子电流可以超过 800 mA.

KRI 考夫曼离子源 KDC 160 技术参数型号KDC 160供电DC magnetic confinement- 阴极灯丝2- 阳极电压0-100V DC电子束OptiBeam™- 栅极专用, 自对准-栅极直径16 cm中和器灯丝电源控制KSC 1212配置-- 阴极中和器Filament, Sidewinder Filament 或LFN 2000- 安装移动或快速法兰- 高度9.92'- 直径9.1'- 离子束聚焦

平行

散设-加工材料金属

电介质

半导体-工艺气体惰性

活性

混合-安装距离8-45”- 自动控制控制4种气体* 可选: 可调角度的支架

KRI 考夫曼离子源 KDC 160 应用领域

溅镀和蒸发镀膜 PC

辅助镀膜(光学镀膜)IBAD

表面改性, 激活 SM

离子溅射沉积和多层结构 IBSD

离子蚀刻 IBE

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上海伯东: 罗女士