Temescal 美国电子束蒸发镀膜

产品概述 Temescal成立于1952年，是真空电子束蒸镀技术的领导者，提供的精密镀膜系统以及电子枪组件。Temescal在精确控制材料蒸气云分布方面拥有丰富的经验与独到的技术，典型材料如钛、铂、金、钯、银、镍、铝、铬、铜、钼、锡、二氧化硅、氧化铟锡，可获得优异的薄膜沉积均匀性和一致性。

Temescal总部在美国加州，拥有独立完善的设计、制造、销售和研发部门，其关键技术优势着重体现于成套沉积系统和电子枪组件。在高亮度LED、GaAs基无线通信芯片、光通讯器件、太阳能光伏、微机械（MEMS）和声表器件（SAW）等领域拥有很高的声誉和众多著名用户。

Temescal完美的工艺实现能力包括：高均匀性多层膜系工艺设计，的大功率电子枪及控制电源，无死角操作的双开门设计，洁净无油真空系统，多种精密工件架，全自动薄膜工艺控制系统，等等。 产品特点 1. 业内独有的真空锁式批量蒸镀系统

2. 整个电子束蒸发源可与腔室分离并转到设备框架之外

3. 高性能电子枪和控制器

4. 所有OEM组件均来自世界一流供应商

5. 丰富的剥离(Lift-off)工艺经验

6. 高均匀性和高材料利用率

7. 可靠灵活的全自动控制系统

8. 设备性能完全满足24/7的严格的FAB生产要求

9. 专业的工艺研发和技术支持 技术参数 主要型号

1. FC4400

Temescal型标准系统，真空锁结构设计，适合150mm以上基片工艺的产能化要求

2. FC3800

Temescal大型标准系统，真空锁结构设计，适合各种高产能应用要求

3. FC/BCD2800

Temescal中型生产设备，真空锁结构可选，适合100mm~150mm晶圆工艺生产

4. FC/BJD2000

Temescal小型标准系统，尤其适合小规模生产和研发 设备产能

设备型号: FC/BJD-2000 FC/BCD-2800 FC-3800 FC-4400

2inch 晶圆: 42 N/A N/A N/A

3inch 晶圆: 17 47 N/A N/A

100mm 晶圆: 13 25 53 55

150mm 晶圆: 5 12 25 30

200mm 晶圆: N/A 6 14 15