HHV Auto（Edwards）多功能真空镀膜系统

产品概述 HHV Auto系列是一种多功能镀膜设备，设计用于满足科研工作者和电子显微学家的需求。

Auto系列可配备各种真空系统、真空腔室和标准化工艺附件，提供一系列实验技术以满足现代化实验室的需要。

Auto3系列可选择配置钟罩式玻璃腔室、圆柱形玻璃腔室，也可以配置通用的FL400前开门式不锈钢箱式腔室。FL400腔室具有额外的高度与宽度，适用于安装较多的工艺附件。

客户可选择的模块化工艺附件，包括热阻蒸发源及其控制电源、3kW EB3电子束蒸发源、遮挡板、基片夹具以及膜厚监控仪等。

真空系统由触屏PLC控制和监控，易于操作；高真空泵选择包括扩散泵、涡轮分子泵、冷凝泵，并使用油封或干式泵作为支持泵。集成的具有备用电池的高真空阀门可在意外情况时保护泵和样品。

产品特点 触屏PLC自动控制真空系统

多种可选薄膜沉积源和电源

多种可选样品夹具

多种可选真空腔室

智能高真空阀门保护泵及样品

紧凑型设计，最小化空间占用

无需压缩空气

完整的安全使用互锁保护 技术参数 极限真空

600 l/s 扩散泵：2×10E-7 mbar

500 l/s 涡轮泵：2×10E-7 mbar

250 l/s 涡轮泵：2×10E-7 mbar

抽真空时间

大气压到1×10E-5 mbar：4分钟

大气压到1×10E-6 mbar：25分钟