美国Brooks/5850E气体质量流量计

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型号

5850E

BROOKS 5850E型流量控制器能精确的测量和控制气体流量。其核心是一个可拆卸的测量气体流量的探头，该探头产生跟流量成线性比例的电输出信号用来显示、记录和/或控制。该装置不需要气体压力进行连续的监测和重新调整就可以提供稳定的气体流量。

流量范围:100-2500 slpm;

精度:±1.0% of rate(20%-100% FS);

±0.2% FS(<20% FS);,

±1.0%F.S.(>1100 slpm)

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