供应ZDF-5327Ⅱ型复合真空计

1 仪器的用途及使用范围ZDF-5327Ⅱ型复合真空计由双路热偶规(ZJ-53B)与单路电离规(ZJ-27)组成，用于2.7×102～6.6×10-6Pa之间的压力测量，适用于真空应用、真空获得等需要实时监测真空与控制输出的设备制造行业，包括半导体制造、镀膜设备、真空排气台、真空冶炼设备等生产车间及大专院校、科研院所实验室。仪器使用环境条件在5℃～35℃，相对湿度在80%以下，无强磁场及剧烈震动的场合。 2 主要技术性能规范2.1 测量范围 热偶部分：2.7×102～1.0×10-1 Pa电离部分：1.3×100～6.6×10-6 Pa2.2 测量精度 热偶部分：≤±30% 电离部分：≤±5%2.3 电源 ～220V±22V 50Hz ±1Hz 2.4 热偶规管恒定加热电流 29mA±1.5mA（27 mA±1.5mA）2.5 电离规管发射电流 1.3×100～1.3×10-1 Pa 100μA1.3×10-1～6.6×10-6Pa 1mA 2.6 加速极对地电压 225V±2V2.7 灯丝对地电压 25V±1V2.8 收集极对地电压 0V2.9 除气电压 ～8V±2V 2.10 仪器外形尺寸 装架式： 90mm×480mm×280mm2.11 仪器开孔尺寸 88mm×440mm2.12 仪器重量 5kg