ZZS系列镀膜机

应用范围： 适用于科研院所和生产企业进行光学薄膜的研究、生产。 技术特点： 主要用于多层膜的镀制，可制作各种滤光膜、反射膜、透射膜。根据需要可以增加或提高配置，如真空系统选用分子泵、低温泵；真空室配低温捕集器；膜厚控制采用石英晶体膜厚控制仪；辅助镀膜采用离子源、RF射频轰击等。 主要技术参数： 型 号 ZZSX-500 ZZSX-700 ZZSX-800 结构形式 箱式前开门后置抽气系统 真空室尺寸 (宽×深×高) mm 500×500×680 700×700×860 800×800×860 极限压力 ≤5×10-4Pa 抽气速率 从1×105Pa抽至2×10-3Pa≤20min 蒸 发 源 电子枪功率 6kW 坩埚容积 20ml×4穴 电阻蒸发功率 2.5kW 水冷电极 2对(交替蒸发) 烘烤温度 3500C 管状加热器或碘钨灯烘烤 真空系统配制 F-1500/分子泵系统 KT-500扩散泵系统 K-600扩散泵系统 光学测厚 光纤光路，透、反射控制， 波长380nm—760nm（可扩展） 技术咨询:chuangxinok@163.com