线切割机、抛光机、研磨机

X61 D18B3M-9S型双面研磨机介绍

一．设备用途及特点

本机是针对蓝宝石抛光工艺而开发的新一代研磨设备，也可用于其它硬脆材料的双面高精度研磨。

二．设备特点1.本机太阳轮、齿圈采用销齿结构，游轮寿命长，维护清理方便。2.该机具有下盘转速、上盘转速、太阳轮转速单独分别设定功能（速度、方向），方便用户工艺设定(齿圈与下盘转速机械配比联动,也可选配单独拖动)。3．本机下盘支撑采用大直径结构轴承，承载力大，采用电气比例阀、精密减压阀控制压力，压力控制精确。4．本机为内齿圈单独升降方式，升降距离可在行程范围内（35mm）任意调节，极限位置由行程开关控制。5.本机采用高档可编程控制器(PLC)控制。

可编程终端(PT)显示并设定各项工作参数及工作状态，可由用户设定存储多套不同的工艺参数（压力、时间、速度），以供操作工调用；操控逻辑及界面显示可根据客户需求配置设计； 具有下盘、上盘、太阳轮寸动功能，方便取放片。7.本机整体为龙门式结构，支撑刚度好；上盘上升到位置后保险挂钩自动锁定上盘系统，并且提供了手动安全吊链和安全支撑，保证了安全可靠。8.本机配备有集中润滑装置，可对机器的各个运动部位进行自动润滑。9.本机可选配安装测厚仪。

二、设备主要技术参数：

1.上下盘尺寸：φ1257×φ723×60

2.齿圈参数： Z=264 PCD=φ1320 （销齿）

3.太阳轮参数：Z=132 PCD=φ660 （销齿）

4.游星轮参数：Z=66 PCD=φ330 （销齿）

5.游星轮个数： 9个

6.加载压力： 800kgf

7.主电机（下盘、内齿圈） 15kW 1450rpm

8.上盘驱动电机 7.5kW 1450rpm

9.太阳轮驱动电机 2.2kW 1440rpm

10.抬升电机： 0.75kW 1390rpm

11.下抛光盘转速: 0～60rpm

12.上盘转速： 0～25rpm

13.太阳轮转速: 0～20rpm

14.外形尺寸（长×宽×高）： 2700mm×1950mm×2780mm

15.设备质量： 7500kg

四．设备安装使用环境

设备应安装在地面平坦，远离振动源，无灰尘烟雾污染的场所。

1．工作温度： 15℃-25℃

2．气源： 0.4-0.6MPa （干燥无油）

3．相对湿度 ≦80%

4．电源： AC380V，50Hz (三相五线制)

X61 D16B3M-TP型研磨机技术规格书

一、产品用途本机主要用于蓝宝石研磨，也可用于其它硬脆材料的双面高精度研磨。

二、主要特点

2.1本机设计采用用电气比例减压阀电控调节正压（输出压力因输入电压的变化而平滑地改变），选用荷重传感器时时检测工件受力，并将信号反馈给控制单元构成压力的闭环控制，压力控制精确。

2.2该机可由用户设定存贮多套不同的工艺参数（压力、时间、速度、速比、缓降压力等），以供操作工调用。

2.3该机具有研磨盘自动称重功能，以此配合研磨压力设定，可自动消除由于研磨盘磨损而造成的压力不稳定现象，从而保证了同样研磨工艺参数（所设压力、时间、速度以及研磨液粒度、浓度、流量）的研磨效率长久不变。

2.4本机太阳轮、齿圈采用销齿结构，游轮寿命长，维护清理方便。

2.5本机整体为龙门式结构，上抛盘上升到位置后保险缸动作，保险挂钩自动锁定，提供了手动安全吊链和安全支撑，保证了安全可靠。

2.6本机太阳轮、齿圈同步升降，啮合位置调整方便，寿命长。

2.7该机具有下盘转速、齿圈转速、太阳轮转速分别设定功能，方便用户工艺设定。

2.8该机具有下盘、齿圈、太阳轮等速寸动功能，方便取放片。

2.9本机可选配SONY测绘仪。

三、主要技术参数

3.1研磨盘规格（外径×内径×厚度） φ1117mm×φ383mm×50mm

3.2游星轮规格 Z=85 PCD=φ425mm （销齿）

3.3最多安装游星轮数量 5个

3.4下盘转速 0～40rpm（无级可调）

3.5太阳轮转速 约20rpm

3.6齿圈转速 约15rpm

3.7 加载压力 500kg

3.8主电机参数 11kW 1440rpm

3.9太阳轮电机参数 1.5kW 1400rpm

3.10齿圈电机参数 2.2kW 1400rpm

3.11设备外形尺寸（长×宽×高） 2200mm×1600mm×2700mm

3.12设备质量 约5600kg

四、设备的安装要求设备应安装在地面平坦、远离振动源、无灰尘烟雾污染的场所。

a、温度10℃-25℃

b、相对湿度≤95%

c、电源电压AC380V（三相五线制）

d、压缩空气源 ：0.4-0.6MPa（干燥无油）

五、整机精度指标

l 下盘平面度小于0.025mm；

l 下盘端面跳动小于0.05mm；

X61 D13B3M-6T型研磨机技术规格书

一、 用途和特点

1.1、本机主要用于蓝宝石、彩色滤光片、硅片、陶瓷片、石英晶体及其他半导体材料的双面研磨，也可用于其它硬脆材料的双面高精度研磨。

1.2、采用电气比例减压阀电控调节正压（输出压力因输入电压的变化而平滑地改变），选用荷重传感器时时检测工件受力，并将信号反馈给控制单元构成压力的闭环控制，压力控制精确。

1.3、该机可由用户设定存贮多套不同的工艺参数（压力、时间、速度、速比、缓降压力、浮动时间等），以供操作工调用。

1. 4该机具有研磨盘自动称重功能，以此配合研磨压力设定，从而保证了同样研磨工艺参数（所设压力、时间、速度以及研磨液粒度、浓度、流量）的研磨效率长久不变.

1.5该机具有浮动启动功能，即在缓降时启动主机，满足某些工件要求上盘动态接触的研磨工艺方案；若不需要此功能，将浮动启动时间设定为零，缓降到位后再启动即可。

1.6该机的太阳轮既可正转运行，也可反转运行（相对于齿圈和下研磨盘, 人机界面首屏上选定）。

二、主要技术参数2.1、 研磨盘尺寸（外径×内径×厚度）：Φ927mm×Φ358mm×45mm

2.2、游星轮规格： Z=147 DP12 α=20°

2.3、游星轮数量： 6个

2.4、最小加工厚度： 0.20mm

***、加工厚度： 20mm

2.5、下盘转速： 0～40rpm

2.6、太阳轮转速 0～20rpm

2.7、内齿圈转速 0～13rpm

2.8、主电机： 7.5kW 1460rpm

2.9、太阳轮电机： 1.5kW 1400rpm

2.10、齿圈电机: 1.5KW 1400rpm

2.11、设备外形尺寸： 1600mm×1200mm×2850mm

2.12、设备质量： 约3000kg

三、设备的安装及使用条件

3.1、 设备箱体上装有四个起吊柱，专门用于设备搬运时吊装，设备应安装在地面平坦，远离振动源，无灰尘烟雾污染的场所。

设备安装的条件为：

a、温度10℃-25℃

b、相对湿度≤95%

c、电源电压380±38V（三相五线制）

d、压缩空气源 0.5-0.6MPa3.2、设备可直接放在地板上，调整六个地脚螺栓可校正设备的水平，校正时，用水平仪在下研盘上检测（即在相互垂直的两个方向上检测、校正），其水平应调至0.06/1000mm。

X61 D20B3M-U型双面研磨机技术规格书

一、产品用途

本机主要用于8英寸以下硅片、光学玻璃、陶瓷片、石英晶体及其他半导体材料的双面研磨，也可用于其它硬脆材料的双面高精度研磨加工。

二、主要特点

2.1变频器配合异步电机拖动，实现了软启动，软停止，调速稳定，冲击小。

2.2采用三电机同步拖动，变速范围更广，能适应不同研磨材料及研磨工艺的要求；可实现快速修盘功能，提高生产效率。

2.3太阳轮与内齿圈同步抬升，满足了取放工件及调整游轮啮合位置的要求。

2.4上下研磨盘采用斜齿轮传动，并且整机采用全齿轮传动，运转平稳。

2.5上研磨盘的升降及研磨压力的控制分别由上气缸及加压缸来完成。采用PLC控制，人机界面显示整机运转状态，压力采用电-气比例阀与压力传感器闭环反馈控制，压力转换过程实现了线性控制。用户可根据研磨工艺进行设置,压力控制精度高。

2.6上盘采用的“浮动”连接装置，调心灵活，解决了错盘问题。

2.7应用人机界面（PT）与PLC 通讯，一方面显示运行参数，另一方面通过其触摸键调整、设定各项工艺参数，主操作由普通键钮完成。

2.8采用集中润滑装置，各相对运动表面、齿轮啮合部位、链轮都可得到充分润滑，大大提高了整机的使用寿命。

2.9本机整体为龙门式结构，上研磨盘上升到位置后由横梁上两小气缸通过安全钩自动锁定，锁定可靠。

三、 设备基本参数3.1、 研磨盘尺寸： φ1355mm×φ458mm×50mm3.2、 游轮参数：公制：Z＝170 M=3 α=20°3.3、 最小抛光厚度：0.40mm3.4、 下盘转速： 0-60rpm3.5、 主电机： 11kW AC380V 1450rpm3.6、 齿圈电机： 4kW AC380V 1440 rpm3.7、 太阳轮电机：1.5kW AC380V 1440rpm3.8、 抬升电机： 0.75kW AC380V 1390rpm3.9、 三相电泵： 1/4HP AC380V 70L/min

3.10、外型尺寸： 1950㎜×3000㎜×2800㎜

3.11、重量： 约7000kg

四、 设备的安装

设备应安装在地面平坦、安装 厚度应大于300mm，远离振动源，无灰尘烟雾污染的场所。

a 温度10℃-25℃

b 相对湿度≦95%c 电源电压AC380V ，50Hzd 压缩空气源 0.5-0.6Mpa（必须为干燥的清洁空气）

五、 整机精度指标

l 下盘平面度小于0.03mm；

l 下盘端面跳动小于0.06mm；

X61 D22B3M-U型双面研磨机技术规格书

一、产品用途

本机主要用于硅片、宝石、光学玻璃、陶瓷片、石英晶体及其他半导体材料的双面研磨，也可用于其它硬脆材料的双面高精度研磨加工。

二、主要特点

2.1变频器配合异步电机拖动，实现了软启动，软停止，调速稳定，冲击小。

2.2采用三电机同步拖动，变速范围更广，能适应不同研磨材料及研磨工艺的要求；可实现快速修盘功能，提高生产效率。

2.3太阳轮与内齿圈同步抬升，满足了取放工件及调整游轮啮合位置的要求。

2.4上下研磨盘采用斜齿轮传动，并且整机采用全齿轮传动，运转平稳。

2.5上研磨盘的升降及研磨压力的控制分别由上气缸及加压缸来完成。采用PLC控制，人机界面显示整机运转状态，压力采用电-气比例阀与压力传感器闭环反馈控制，压力转换过程实现了线性控制。用户可根据研磨工艺进行设置,压力控制精度高。

2.6上盘采用的“浮动”连接装置，调心灵活，解决了错盘问题。

2.7应用人机界面（PT）与PLC 通讯，一方面显示运行参数，另一方面通过其触摸键调整、设定各项工艺参数，主操作由普通键钮完成。

2.8采用集中润滑装置，各相对运动表面、齿轮啮合部位、链轮都可得到充分润滑，大大提高了整机的使用寿命。

2.9该设备的主要外购件采用进口件，保证了各项性能的高指标。

2.10本机整体为龙门式结构，上研磨盘上升到位置后由横梁上两小气缸通过安全钩自动锁定，锁定可靠。

2.11该设备可配套美国TRANSATE及日本SONY公司的动态厚度控制系统（选配件，标准设备无）。

三、 设备基本参数3.1、 研磨盘尺寸： φ1456mm×φ488mm×50mm3.2、 游轮参数：公制：Z＝138 M=4 α=20°3.3、 最小研磨厚度： 0.50mm3.4、 下盘转速： 0-60rpm3.5、 主电机： 15kW AC380V 1460rpm3.6、 齿圈电机： 4kW AC380V 1440 rpm3.7、 太阳轮电机： 1.5kW AC380V 1440rpm3.8、 抬升电机： 0.75kW AC380V 1390rpm3.9、 三相电泵： 1/4HP AC380V 70L/min

3.10、外型尺寸： 2700㎜×2050㎜×2780㎜

3.11、重量： 约9000kg

四、 设备的安装

设备应安装在地面平坦、安装 厚度应大于300mm，远离振动源，无灰尘烟雾污染的场所。

a 温度10℃-25℃

b 相对湿度≦95%c 电源电压AC380V ，50Hzd 压缩空气源 0.5-0.6Mpa（必须为干燥的清洁空气）

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