两通道的配气仪

两通道配气仪概述该装置用于为手动配气设备，通过前面板的数显仪和转子流量计控制仪可以精确的配置所需浓度的气体和气量，可以显示各管路实时流量值。气体质量流量控制器采用美国原装进口的气体质量控制器精确控制设定的气体流量。控制原理配气系统采用质量流量控制器，将已知浓度的气体以恒定的流量流入，以此同时，零气（稀释气体N2）以恒定的流量流入，与H2气体混合稀释，稀释后的标准气体连续不断的从管路流出，两个质量流量控制器同时动作，处于动态配气过程，混合气体由气体出口采集，可用转子流量计调节大小，在混合气体出口并联了一路作为排空，保证标准气流稳定。

气体流量的调节由质量流量控制器（MFC）控制，准确测量这两个气体流量之比就得到稀释倍数，混合气体的浓度可从稀释倍数计算出来，调节气体流量之比可以得到所需浓度的标准气体。

气体进入质量流量控制器之前由减压阀调整气压使得气压与所用质量流量控制器的耐压范围相对应，

主要功能

n 操作简单、精确控制

n 通过面板安装的数显仪可以控制和检测流量值

n 使用转子流量计可以调节出口流量

n 实时显示气体流量值

n 携带方便，维护简单

通过针阀可以调整流量大小