气体流量控制器

FCS-410型气体流量控制器是基于MCS51系列单片机配合外围控制部件，通过对四路气体质量流量计的控制，实现镀膜机充气系统全自动运行。本机可由用户编程设定，对反应气体随镀膜时间变化进行增减量控制。同时本机支持RS485或RS232通讯控制，支持开关量外部控制，也可连接上位控制机实现远程控制。

技术参数：

1.电源：AC220V-240V，50HZ

2.功率：80W

3.控制路数：4路

4.适配流量计：七星华创D07-7B、AE公司FC-7700型、汇博隆、Burkert（德国）

5.流量范围：50-1000SCCM

6.适用环境：温度-10℃-45℃，相对湿度30%-85%

7.安装尺寸：面板480（宽）x120（高），机箱440（宽）x330（深）x120（高）[ 返回 ]