MKS1179A系列质量流量计 流量计

MKS1179AMKS1179A质量流量计的概述：

1179A是一种通用型弹性密封的质量流量控制器，可在多种应用场合测量和控制气体的流量，特别是可重复性要求高的场合。配上合适的压力控制器，它还可以作为压力控制器使用。

对于当今市场上的质量流量控制器，1179A可作为直接替代的产品，标准的3英寸底座使1179能够直接进行安装而无需改变现有的气体管道。它具有数字和模拟两种模式，其精度为全量程的1%。

1179A MKS1179A MKS1179A质量流量计的技术参数：

材质：316不锈钢

灵敏度：全量程的0.1%

连接器：模拟：9Pin或15Pin或20Pin Card edge.

数字：RS485或Device net或Profibus

质保期：有限保修自售出之日起12个月。

热机时间：小于2Min.MKS压力计

控制量程：2%to100%的全量程。

测量精度：全量程的1%

响应速度：小于2Sec.

输入电压：±15VDC@100ma

输出电压：0-5VDC

法兰接口：Swagelok 4VCR，Swagelok4 VCO，Swage 1/4”等

全量程：10SCCM，20SCCM，50SCCM，100SCCM，200SCCM，500SCCM，1000SCCM，2000SCCM，5000SCCM，10000SCCM，20000SCCM。

1179A MKS1179A MKS1179A质量流量计的型号及采购序列：

例：型号1179A00411CR1A5VXX 采购序列号

校准气体（SEMI气体编号）*

Helium, He 001

Argon, Ar 004

Hydrogen, H2 007

Nitrogen, N2 013

Oxygen, O2 015