三次元，三座标(图)

1． 型號規格：ABLE 8106 CNC 2． 主要技術指標： 2.1測量範圍：X=800mm，Y=1000mm，Z=600mm (實際量測行程：X:775 Y:975 Z:575(mm) 2.2空間測量示值誤差：E≤3 L/320μm 2.3量測系列：德國海德漢光學尺，0.078μm解析分辨率 2.4 MPEP：3μm 2.5運動速度：300mm/s 2.6承受重量：500kg 2.7儀器重量：1090kg 2.8外型尺寸：1935mm×1350mm×2729mm 2.9環境要求： l 溫度範圍：20±2℃，0.5℃/h l 氣源壓力：150NL/min，進氣壓力:最少5bar l 濕度範圍：45%-65% l 電源：110V±10% ，50Hz l 溫度範圍：10℃~45℃ l 地面振動：頻率範圍：0～6Hz， 6～50Hz， ＞50Hz 振 幅：7.6μm， 2.5μm， 7.6μm l 橫梁與Z軸採用表面陽極化航空鋁合金，溫度一致性極佳，並降低了運動部件的質量，減少測量