双频激光干涉仪

ZLM800双频激光干涉仪是德国Jenaer公司生产的新一代激光干涉仪。把性能稳定的氦氖气体激光与电子电路相结合，可制造出新型的干涉仪测量系统。

可编程ASIC装置可根据用户的要求，可提供无与伦比的个性话测量系统。

ZLM800激光干涉仪广泛应用于独立校准系统、多轴定位系统，及快速动力学的全部控制系统。它还可完全评估机器及机械的动力学动作，以便通过WINDOWS软件，按用户规定的方式对该动作进行分析。

所有模块化系统均配有超级蔡司光学，ZLM800激光干涉仪为用户所有的应用测量系统提供完美的解决方案： 位置 距离 速度 加速度 角度 振动 直度 垂直度 平坦度 整齐度 工作模式 型ZLM800激光干涉仪使用氦氖气体激光，在双频外差中工作。

激光热稳定性为0.002 ppm,两种模式的640MHz频率用于信号处理相当于四倍。这种高频处理信号可以对运动速度非常块的物体进行测量，而没有干扰误差，信号延时非常短。

干涉仪光学到PC插槽上电子计数器电路信号的传输通过光纤电缆来进行，它可阻止外部电磁环境的干扰。因此ZLM800适用于恶劣的生产环境、标准测量环境及高真空环境。

作为PC插槽的替代品，可使用独立的数据处理电子单元，它带有多个接口，用于数据输出、连接闭环控制回路。该型号的干涉仪可以扩展为五轴测量。 要点 被测物体速度16m/s 无干扰误差时的分辨率2.5nm(带平面镜干涉仪时为1.25nm) 加速度无限制 即使非常低的光线水平，探测信号也十分稳定 信号延时