优质宽光谱椭偏仪 行业典范

RISE-Zenith采用旋转单补偿器光学结构（PSCrA）与旋转起偏器（PrSCA）原理相结合，代表着系科公司光谱椭偏技术的水准，拥有多项核心，所有硬件配置均为国际顶尖，历时数年开发测试，具有出色的稳定性。

RISE-Zenith可在可见光及近红外波段（其余波段可选）快速采集数据，进行膜厚、折射率、消光系数等光学参量的分析。无论是吸收还是透明衬底，双层膜还是多层膜分析，皆可一键完成。

RISE-Zenith 能够分析并不理想的样品，如：具有米氏散射或瑞利散射的绒面衬底、具有背板反射的透明衬底、膜层厚度极其薄以及极其厚、非均匀样品等等。RISE-Zenith 适用于多种领域的薄膜测量：晶硅太阳能电池、薄膜太阳能电池、半导体、微电子、触摸屏及LED等。

RISE-Zenith光谱椭偏仪均采用系科公司历时数年开发并完善的ElliSpec软件系统。该软件系统几乎具备所有椭偏分析功能，可以说，代表着国内的水准。

产品详情参照：-Zenith

【技术规格】 波长：300nm - 1000nm (其它可参照RISE-Zenith谱段范围选择) ψ、△精度： 0.015°、0.015° (90° 时50次测量标准差) 长期稳定性： TanPsi= ±0.005；CosDel= ±0.005(90°超过1小时的测量) 膜厚精度： 2Å for 100 nm SiO2 on Si 折射率精度： 1x10-3 for 100 nm SiO2 on Si 厚度范围： 1nm-200µm 入射角: 自动 ：7° - 90° （精度0.0072°）；手动： 5° - 90°/5° 自检： 90°自动校准；包括原始测试波形的自检 维护： 自动的内部维护程序，检查部件是否在正常工作 数据库： 各种电介质、薄膜、晶体及非晶半导体、金属等的NK文件（数万种） 载物台：自动对焦，2D Mapping