磁控溅射镀膜机、真空镀膜机、镀膜生产线

主要技术参数：1. 极限真空度：8.0x10-4Pa；2. 工作真空度：6.67x10-3Pa；3. 抽速：从大气抽至6.67x10-3Pa，＜7分钟；4. 压升率：0.45Pa/小时；5. 自转轴中心距：120mm；6. 工位：10个（工件架自转半径为85mm）；7. 电气控制系统：PLC全自动控制，可动行多种工艺设置。产品名称PVD1006数量真空系统*VDN901直升泵二台（爱发科）*RTO · 150S罗茨泵一台（上海萃曼）*TYFB-3600分子泵一台（泰岳恒）*阀门：高阀型号为：GDZ400B型，整阀全部由太钢304不锈钢焊接而成，前级阀、预抽阀、维持阀型号为：GDQ100型，旁通阀为罗茨泵内安装阀；*管道为全不锈钢结构。1套真空室*全部由太钢304不锈钢焊接而成，带水冷套，内尺寸Ø1000X600mm，2对平面靶安装于罐体内，抽气口右侧分一列布置二个弧源位，门上一个观察窗。*工件支杆2套（20支），Ø8mm；*内衬板2套（厚度0.8mm）；*布气管路；*放气阀加装空气滤清器*转架为下转架，带屏蔽罩。1套弧电源直流逆变DC160A（深圳瑞佳）2台偏压电源脉冲逆变30KW（珠海盛普）1台中频电源中频逆变20KW（珠海盛普）2台

本公司可根据用户要求设计各种规格型号的真空镀膜机。真空机组及电控系统也可根据用户要求进行设计配置。