磁控溅射镀膜机、真空镀膜机、镀膜生产线

主要技术参数：1. 极限真空度：5.0x10-4Pa；2. 工作真空度：6.67x10-3Pa；3. 抽速：从大气抽至6.67x10-3Pa，＜9分钟；4. 压升率：0.45Pa/小时；5. 自转轴中心距：156mm；6. 工位：18个（工件架自转半径为130mm）；7. 电气控制系统：PLC全自动控制，可动行多种工艺设置。

产品名称PVD12512E数量真空系统1.2x30旋片泵一台（南光）；

2.2x70旋片泵一台（南光）

2.RTO · 300S罗茨泵一台（上海萃曼）；

3.TYFB-3600分子泵两台（泰岳恒）；

4.阀门：前级阀、预抽阀、维持阀以上为GDQ100型不锈钢结构，DDC-JQ65、DDC-JQ80型电磁真空带充气阀为上海二阀电磁阀，旁通阀为罗茨泵内安装阀；

5.管道为全不锈钢结构，分子泵出口为波纹管连接。1套真空室1.罐体材料为304不锈钢带夹层水冷套结构，内尺寸Φ1250x1200mm，内壁厚10mm，上盖板布置4对（8支）磁控靶，一对平面靶，抽气口两侧排布两组八支弧源，门上两个观察窗；

2.工件支杆2套Ø14mm；

3.内衬板2套；

4.布气管路；

5.放气阀加装空气滤清器；

6.转架为下转架，带屏蔽罩。1套偏压电源脉冲逆变PLS50KW（珠海盛普）1台中频电源中频逆变MF40KW（深圳新达）4台弧电源直流逆变DC160A（深圳瑞凌）8台直流电源直流逆变DMS-20kwSJ、DMS-10kwSJ（深圳新达）