磁控溅射镀膜机、真空镀膜机、镀膜生产线

主要技术参数：1. 极限真空度：7.1x10-4Pa；2. 工作真空度：6.67x10-3Pa；3. 抽速：从大气抽至6.67x10-3Pa，＜10分钟；4. 压升率：0.15Pa/小时；5. 自转轴中心距：180mm；6. 工位：20个（工件架自转半径为90mm）；7. 电气控制系统：PLC全自动控制，可运行多种工艺设置。

产品名称PVD1612A数量真空系统1.2x30旋片泵一台（成都南光）；

2.2x70旋片泵一台（成都南光）

2.RTO · 300S罗茨泵一台（上海萃曼）；

3.KT-500扩散泵两台（沈阳真龙）；

4.阀门：前级阀、预抽阀、维持阀以上为GDQ100型不锈钢结构，DDC-JQ80型电磁真空带充气阀为上海二阀电磁阀，旁通阀为罗茨泵内安装阀；

5.管道为全不锈刚结构，扩散泵出口为波纹管连接。1套真空室*罐体材料为304不锈钢带夹层水冷套结构，内尺寸ø1600X1200mm，抽气口两侧分二列布置10个弧源位，门上两个观察窗。*工件支杆2套（40支），ø14mm；*内衬板2套（厚度1mm）；*布气管路；*放气阀加装空气滤清器*转架为下转架，带屏蔽罩。1套弧电源直流逆变DC160A（深圳瑞凌）10台 本公司可根据用户要求设计各种规格型号的真空镀膜机。真空机组及电控系统也可根据用户要求进行设计配置。