美国AJA高真空磁控溅射镀膜机

美国AJA公司中国区总代理--重庆眺望科技有限公司

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AJA国际公司ATC ORION系列磁控溅射镀膜系统是热销的ATC系列下的一款结构紧凑型设计，拥有高性价比。

这些高压和超高压溅射系统不仅沿用了许多技术成熟的ATC-V和ATC-F溅射系统的设计特点和通用部件，还能提供一些特有的功能，例如可调式气体路管（已申请），其旨在优化沉积均匀性。标准的ATC ORION模块（腔体，框架，集群法兰等）一般都有现货，因此AJA能够缩短交货时间。这些系统配置了AJA的特有ST-20-O（HV）和A320-XP-O （UHV）磁控溅射源（2英寸和3英寸），并且可以安装加热至850 °C的基片加热器，可放置直径为4英寸的基板，直径为5.25" 和4" x 4"的基片能够配置特殊的基片支架，可加热至 350°C.。

•腔室尺寸10", 12" 和 14"

•高真空和超高真空型号

•1.5", 2" 和3" 溅射源

•基片支架尺寸 6"

•预真空室

•基片片盒

•自动加载

•电脑控制

•定制化系统

•优于台式系统

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