青岛福润德微电子设备有限公司
主营产品：
13792802165
青岛福润德微电子设备有限公司
主营产品：
2023年09月13日 17:30
型号 |
frd-12 |
工艺用途 |
退火炉 |
传热方式 |
对流式电阻炉 |
热工制度 |
连续式炉 |
炉型结构 |
贯通式炉 |
输送形式 |
输送带式炉 |
控制形式 |
工艺过程控制炉 |
规格 |
130*420 |
炉管数量 |
1-4管 |
恒温区长度及精度 |
300～1000mm 600~1280℃±0.5℃； |
最大降温速度 |
5℃/min |
工作温度范围 |
400～1300℃ |
LED专用炉主要满足LED芯片制造行业，对圆片及残片进行合金、退火、扩散、氧化等工艺。特点：★关键件全部采用进口件，具有高可靠性。★具有可编程的升、降温功能。★具有断电报警、超温报警、极限超温报警等多种安全保护功能。★可存储九条工艺曲线。每条工艺曲线最多有九步。★曲线间可以任意链接、重复。★具有高抗干扰能力。★具有多种工艺管路，可供用户随意灵活配置。★可为您提供斜滚式推拉舟系统，石英双杆推拉舟系统及SiC浆推拉舟系统。主要技术参数：★可配工艺管数量：1~4管/台； ★工作温度范围：400～1300℃；★恒温区长度及精度：300～1000mm 600~1280℃±0.5℃；★单点温度稳定性：600～1280℃±0.5℃/24h； ★可控升温速度：15℃/min
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