青岛福润德微电子设备有限公司
主营产品：
13792802165
青岛福润德微电子设备有限公司
主营产品：
2023年10月25日 09:51
型号 |
frd-1110 |
工艺用途 |
退火炉 |
传热方式 |
对流式电阻炉 |
炉内气氛 |
空气介质炉 |
热工制度 |
连续式炉 |
炉型结构 |
井式炉 |
输送形式 |
输送带式炉 |
控制形式 |
计算机仿真控制炉 |
规格 |
224*256 |
气路系统 |
15路工艺气体／管 |
控制方式 |
工控机、触摸屏 |
温度 |
1600 |
扩散炉主要满足半导体电力电子器件、大功率集成电路等行业，对所加工硅片进行扩散、氧化、退火、合金等工艺。主要由扩散炉加热炉体、气源系统、控制系统、超净化操作系统等组成。选用工控机微控方式或者程控方式操作。
扩散炉技术指标：
t可处理硅片尺寸：212英寸
t外型形式：卧式14管结构
t工作温度：200℃1300℃
t恒温区长度及精度：200mm1100mm≤±0.5℃
t单点温度稳定性、重复性： ≤±1℃/24h
t温度斜变： 可控升温速率15℃／min
t可控降温速率： 5℃／min
t送片装置：全自动悬臂推拉舟、拉杆式推拉舟
t气路系统：15路工艺气体／管
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