昆山光刻板 制版

光罩的制作过程

1. 制作石英基板。空白基板通常为6英寸见方，厚度为0.25英寸。它由纯熔融石英制成，通常简称为石英。基板表面必须非常平坦且无缺陷。

2. 沉积吸收层。在基板上是薄的吸收层，可以阻挡来自光刻机的曝光。

3. 沉积光刻胶层。在吸收层的顶部是一层薄的光刻胶，暴露在光罩写入机（Mask Writer）之下。

4. 写入。由光罩写入机完成，使用电子束曝光光刻胶，将芯片设计的图案数据呈现在光刻胶上。

5. 烘烤。烘烤曝光的光刻胶，要求在光罩上的每个点都温度均匀。

6. 显影。

使用显影剂使光刻胶的图像显影，漂洗并干燥而不留下任何残留物。因为光刻胶图案在蚀刻工艺期间用作光罩，所以该显影步骤是关键的，因为显影中的任何不均匀性将导致终图案尺寸的不均匀性。

7. 蚀刻。然后将显影的光罩放到到蚀刻机中，蚀刻机使用等离子体地蚀刻掉由写入和显影步骤带来的吸收剂材料。

8. 剥离和清洁。将蚀刻好的光罩装入清洁机器中，清洁机器使用干等离子体或湿化学法剥离光刻胶。

9. 测量。测量关键尺寸（CD）和图案精度，以确保它们符合客户规格。

10. 检查。为了验证图案精度，将光掩模加载到Inspection机台中。如果发现缺陷，则对它们进行分类和必要的修复。

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顾客假如没文本文档出示1个实样，实样假如是4色i图样的.很繁杂的，人们就必须先拿来滚桶扫描仪，扫描仪以后还要电脑上制做，别名电脑上制板，这儿制的版是指丝印网版，(丝印网版:就是说胶卷，和拍照用的胶片机相同的，专业术语就叫丝印网版，你应当有在报刊上看了，某某某一出現，扼杀了许多摄像师的丝印网版，相同含意的)在人们用电脑上制做好后，依据总数，规格型号这些来拚版，就是说拚在一纸型的开数里边.例如4开.六开等，随后就是说輸出丝印网版.通常只能大的印刷工厂才会自身輸出丝印网版，要不然一切正常全是发至外边的技术专业菲林输出企业輸出的，丝印网版的輸出是依据你文档里边的设置出的，一切正常是四色印刷.

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菲林在使用中需注意的事项

激光照排菲林中含有防光晕层，在定影、水洗的过程中有一些会脱落，在片基上形成淡蓝色的水斑，可在定影液中加入适量的坚膜剂消除。水洗槽要经常保持清洁，每天在工作结束后要将水槽中的水放掉，用干净的纱布擦干。每次加水之前要先将水放掉一些以除掉水锈，每周至少要坚持清洗水辊一次。

昆山光刻板-制版由苏州优版光电有限公司提供。苏州优版光电有限公司（www.szphotomask.com）位于苏州工业园区星湖街328号崇文路国华大厦B418室。在市场经济的浪潮中拼博和发展，目前苏州制版在光电子、激光仪器中享有良好的声誉。苏州制版取得商盟认证，我们的服务和管理水平也达到了一个新的高度。苏州制版全体员工愿与各界有识之士共同发展，共创美好未来。