蔡司 AURIGA 聚焦离子束系统（Cr

这是一台设计的聚焦离子束系统，具备高分辨率成像功能。它由电子束系统(SEM)和离子束系统(FIB)组成，可以进行材料的刻蚀，沉积和TEM制样。它可以进行实时（在刻蚀或沉积时）观察（SEM）以及其它分析。

参数

分辨率: SEM

1.0 GEMINI column

1.0 nm @ 15 kV

1.9 nm @ 1kV

放大倍数:12x – 1000 kx

束流

4pA – 20 nA (80nm 可选)

加速电压 0.1 － 30 kV

发射器 热场(Schottky)

气体注入器系统

a) 5个（Pt,C,W, 碘，绝缘体,氟化物等）

b) 4个＋局部电荷中和器（可使用所有的标准探测器）

c) 一个

d) 在使用局部电荷中和器时，可使用所有的标准探测器

样样品台 6 轴超优中心马达台

移动范围

X,Y ＝ 100 mm

Z ＝ 55 mm

Z” ＝ 10 mm

倾斜＝ -10 － 60度，旋转＝360度 连续

AWD(分析工作距离)＝5－8.5 mm

样品交换室

80 mm / 100 mm 手动样品交换

探测器

高效环形 In-lens 二次电子探测器

Everhart-Thornley二次电子探测器

镜筒内置式 EsB背散射电子探测器（带0－1500V过滤网）

二次离子探测器（SESI）

固体背散射电子探测器

BF/DF STEM探测器

样品室

330 mm(直径)，266 mm(高)

15个接口可安装 STEM,4QBSD,EBSD,EDS,WDS,SIMS,GIS系统，局部电荷中和器等

2个观察用CCD.

操作显示系统

基于Windows操作系统上的SmartSEM操作界面。

由鼠标，键盘，操作杆控制或控制板（可选）