美国KLA白光干涉仪

•非接触表面的粗糙度，完成从高度抛光和表面纹理光学粗糙表面，如钢材，铝，纸，塑料，陶瓷，磁性介质和硅晶片。专门的应用程序的配置，例如读写头和激光纹理磁盘媒体分析。

•研究的灵活性，但速度的过程控制使用强大的映射和分析软件提供，产品开发人员可以获得表面的信息，可以优化的纹理，形状和完成面。完整的映射选项允许三维图片是绘制剖面，检查和彩色输出打印。目镜也提供随着表面直接观察研究。

•一旦研发有精致的表面，很容易适应生产的仪器过程控制。基于DSP的视频数字化仪，优化软件，和最快的奔腾处理器许可证是生产的关键。

•RMS的重复性（标准模式）：1 nm

•RMS的重复性（精度模式）：0.1 nm

•RMS的重复性（单波长：0.05 nm）

•垂直扫描范围：上至10mm

•数据采集时间：高达7.2μ米/秒

•侧表面取样：0.11到8.8μM

•视野：8x10mm（”。78x）到

•084x。063mm（@ 100x）。

•坡度：40到3.2度

•校准精度优于0.1%

•反射：1%至100%

•数字化分辨率：752x480像素

•1000x1000像素

•XY平移台范围：100mm×100毫米

•选项：150mmx150mm

•200mmx200mm

•300mmx300mm

•θ阶段范围：在Y方向100毫米

•倾斜范围：±7度

•相机：±旋转90度，蜗杆传动

•电子/软件平台：奔腾4电脑

•视频显示：17英寸平板SVGA显示器，

•数据采集（标准）：2.1μ米/秒。

•数据采集（高速）：7.2μ米/秒

•振动隔离表：可选