NP-AFM原子力显微镜 AFMWorkshop各类特殊规格探针均可使用

NP-AFM NP-AFM是一台纳米分析仪器，用于样品表面粗糙度和样品微尺度分析。主要应用包括工艺开发和技术样品制作的过程控制。

高分辨率视频为扫描样品做精确定位多种样品台 或者 真空吸盘为样品提供方案XY闭环扫描可高精度快速缩放扫描区域探针换置工具大幅减少换探针时间In plane flexure XY scannerMinimal out of plane motion in imagesLabview 软件 USB 通讯非常方便适用于各种新系统使用各类探针各类特殊规格探针均可使用

NP-AFM Overview§ NP-AFM是一套完整的纳米分析系统，包括进行扫描样品需要的所有工具：显微镜主机，电控箱，控制计算机，探头，手册和视频显微镜。 NP-AFM系统标准样品尺寸200mm×200mm的×20mm，可选配各类不同大小的样品台。AFM 纳米分析对象:

- 各种技术样品

- 晶片,磁盘三个样品台选项，可以适应样品台大小 200mm X 200mm X 20mm内置高分辨率视频显微镜线性化XY轴压电扫描器适用于各类标准尺寸探针包含轻敲模式接触模式，以及横向力和相位模式实用电动下针模式 LabVIEW-based 软件使用行业标准的光学杠杆传感器，所有标准扫描模式都为标配，轻敲模式用于高分辨率成像和软样品，接触模式用于日常扫描，相位模式和横向力模式也包含在系统内。控制软件由LabVIEW编写，非常简单易用。不同的窗口指导用户完成整个过程：预扫描窗口用于原子力显微镜寻找合适区域以及下探针，扫描窗口用于采集图像，力曲线窗口用于测量F / D曲线，，一个系统窗口用于修改系统参数。NP-AFM 适用于各类技术样品(如晶片磁盘)的日常扫描,已经纳米研究.NP-AFM 性能晶片分析原子力显微镜是一个非常高分辨率的分析仪器,它能够对各种经过处理的晶片进行测量,其中包括：表面形貌的成像 - 通常表面特征的成像可以帮助确认一个过程是否已经有效的完成。 AFM对于在晶圆工艺中经常遇到的超平样品也可以提供极高的对比度。表面粗糙度/纹理测量 – 原子力显微镜是可以用于纳米级表面粗糙度测量的仪器。加上适当的防震隔音罩，它可以测量表面纹理低至0.1纳米的样品。台阶高度测量 -原子力显微镜能够用于台阶高度测量,可以测量从0.3纳米至500纳米的台阶高度。标配的高分辨率的视频显微镜用于定位扫描区域下面是一个例子的测量有图案的使用CMP抛光的晶圆。下面是一个光学显微镜图像的三个测量位置。可见光学显微镜图像中的悬臂;红色的激光用于探针AFM探针光学传感器。测量的位置被确定为1,2和3。

位置 1 - Visualization扫描区域1 AFM图像所得的结果。图像上有随机的凹痕，这些凹痕在光学显微镜图像中不可见。通过放大AFM,我们可以看到正确的图像,碎片状边缘。凹痕的宽度约为90 nm和深度是10纳米。

Region 2 - 表面粗糙度扫描图像2没有出现在图像1中的明显结构。下图是一个图像2的3D结构图。样品表面的粗糙度位1.69nm十倍于AFM的本底噪音。

Parameters

Average value:15.43 nmMinimum:7.12 nmMaximum:29.85 nmMedian:15.39 nmRa (Sa):1.69 nmRms (Sq):2.11 nmSkew:0.135Kurtosis:0.05Surface area:100.166 μm²Projected area:100.000 μm²Inclination θ:0.0 degInclination φ:-71.8 deg

Region 3 – 台阶高度测试图像3是一系列大约为1um宽度的光栅结构，在光学显微镜图片中可见。下图位区域3的AFM图像。使用.直方图统计光栅高度为43nm。NP-AFM StageNP-AFM阶段具有良好的热和机械稳定性以满足高分辨率的AFM成像。此外,其开放设计方便用户修改。高分辨率Z轴直接驱动Z方向控制运动运动距离330nm,探针接近。软件控制Z轴快速上下移动光杠杆和调节自动探测探针接近样品。样品台NP-AFM有多个样品台可以选择,包括2 x3英寸移动分辨率为2µm手动样品台,和一个可以放置晶圆和光盘的大型样品台。光学杠杆NPAFM使用行业通用光杠杆力传感器。NP的探针夹持器适用于几乎所有商用AFM探针。光杠杆力传感器可以测量各种标准AFM模式,包括轻敲、接触、侧向力和相模式。上视光学系统高分辨率光学显微镜有一个可变焦镜头允许的视野在2 X 2毫米到300um X300um之间缩放。光学显微镜对调整激光光杠杆至关重要,方便实现对探针的扫描定位功能。XY扫描器在XY扫描中,线性压电陶瓷利用实时反馈控制以确保准确测量。多层耦三角平板设计(MMTD)的xy扫描器提供了的碗形扭曲。探针夹持器光杠杆力传感器部分使用了带有弹簧夹式的模块化的探头夹持器。NP-AFM可以在不到2分钟的时间完成探针的更换

NP-Atomic Force Microscope样品台示意图 NP-AFM 4012 样品台NP-AFM-4012 样品台是设计容纳各种样品的形状和大小。该样品台有6 个标准的原子力显微镜磁性样品夹持器。自定义大小的样本夹持器可以很容易地设计并添加到样品台上。

NP-AFM 4022样品台 直径的达8“晶片和光碟也可以使用在NP-AFM 4022 样品台上。真空吸盘有一个独特的设计使样品牢固同时也能快速调整，以适应不同直径的样本量。有一个双轴移动台可以定位原子力显微镜成像区域。