长沙罗氏农产品有限公司
主营产品:
2023年12月04日 10:30
扬博蚀刻机用,显影机用,喷嘴,亚智蚀刻机用,显影机用,喷嘴,茂科蚀刻机用,显影机用,喷嘴,登泰蚀刻机用,显影机用,喷嘴。
1.噴嘴種類:(1)Cone Type:有較佳之Spray Uniformity。
(2)Fan Type:有較大之Impact Force(約為同條件下之Cone Type Nozzle的15 ~ 20倍)。
2.噴嘴型號:
2-1.向國內設備商採購之設備:
(1)合格之噴嘴供應商為系統噴霧或中日噴嘴,應避免採購雜牌之噴嘴,以簡化廠內備品種類及降低噴嘴異常之頻率,並應於採購之設備規格合約書中載明。
(2)若無特殊之製程需求,以選用噴角65 °,快拆式為準,以方便現場拆換清理。
(3)因噴嘴產品之型式推陳出新甚快,以系統噴霧為例,QPH5及QPVVL6508型號於89年之產品型錄已不再出現,再過一陣子將停產,因此往後應依我方之製程需求,由製程單位參照之產品型錄,決定適合的產品型號。
2-2.向國外設備商採購之設備:因採Total Package方式,不硬性限定噴嘴型號,以免影響該設備之Performance。
3.噴嘴出水端至板子距離:無特殊之製程考量時,以100 mm為準。當製程需求已超出現況標準設計下的設備能力值時,可嘗試進行設計變更(d = 80 mm),看是否可有效提升設備能力以符合新的製程需求。
4.噴嘴排列採前後或依序交錯,以錯開強噴壓區,達到均勻之目的。
5.噴管一律選用厚管,管徑以3/4²為上限,決定原則為管內平均流速£2 m/sec(For非金屬材質)或£2.5 m/sec(For金屬材質)。
6.噴管直排時,每一Module(噴盤)之噴管長度£1 m。
7.噴嘴原則上選用2分牙(1/4²)。
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