KSD-0120静电电位监视器

2CH静電電位監視装置（KSD-0120）

能用1台控制器连接2ch的幅度电位传感器(KS-2100)、能廉价地制造静电监视系统。

因为是小型传感器部、能设置在各种制造装置内比较窄的地方、连续监视可能。

因为有警报设定、如果在超越了设定的电位时、能与各种制造装置传动。

装备检出传感器的故障表示LED、能输出到外部。

KSD-0120的规格

用途

监视平面显示器生产工序中的带电量。

监视半导体硬芯片(wafer)的带电量。

监视LSI 处理中及印刷电路板搬送中的带电量。

構成品目形式備考本体KSD-0120 取付金具 本体に付属センサKS-2100オプション、2台迄使用可能専用ACアダプタKSD-0120用ACアダプタオプション

仕様

本体型式KSD-0120表示範囲レンジ(1) ±1～±1999V

レンジ(2) ±0.01～±19.99kVアナログ出力0～±5V制御設定2チャンネル独立設定制御出力オープンコレクタ（制御設定出力及びセンサ故障出力）電源DC12～24Vまたは

専用ACアダプタ（AC100V／オプション）消費電流500mA（DC12～24V）環境温度0～40℃、湿度65％RH以下（結露なきこと）質量約580g（取付金具含む）専用ACアダプタ（オプション）型式KSD-0120用ACアダプタ入力電圧AC100V 50／60Hz出力電圧DC12Vケーブル長1580mm質量約385g

センサ（オプション）型式KS-2100検出方式振動型表面電位センサ測定範囲レンジ(1) ±1～±2000V

レンジ(2) ±0.01～±20.00kVアナログ出力0～±5V測定精度±10％以内測定基準距離レンジ(1) 10mm

レンジ(2) 50mm警報検出センサ故障LED表示、外部出力電源KSD-0120より供給環境温度0～40℃、湿度65％RH以下（結露なきこと）質量約100g（ケーブル含まず）付属品専用ケーブル5m（100m迄延長可能）