半导体参数分析

BXT2931C型四通道半导体参数分析系统

1、设备描述

BXT2931C型四通道半导体参数分析系统为高性能、全自动、可程控设备。可用于多类半导体器件(如二极管、三极管、场效应管、MOS、CMOS管等的多种不同成品形式如晶片、成品电路等)的直流参数测量和分析，并可进行图形显示。主要应用于集成电路的计算机辅助设计(CAD)，新元件的评价，新材料的评估，电路设计的元件选择，半导体生产的过程控制、质量控制及品质保证等。

2、主要组成

设备配备可程控的源／测量单元（SMU）4个，单路电压监测单元（VMU）1个，主控单元（MCU）1个。使用GP-IB IEEE488.2接口与微机相连，配置的控制机软件系统可遥控BXT2931C设备，使用BXT2931C设备采集的数据进行图形显示并分析。该设备可独立使用，也可作为实验室及生产线完整测试系统的组成部件之一。

3、设备参数基本功能：施加电压测量直流电流／施加电流测量直流电压；控制微机屏幕显示测量／计算结果；图形分析；测量设置、测量数据文件的存储与载入；主控缓存：256K SRAM；源／测量单元：4通道，每通道可编程实现可变直流电压源／电流监测或可变直流电流源／电压监测。（单元编号29310A）；电压测量单元：单通道16-bitAD转换（单元编号29310D），最快单点测量时间50uS，和积分时间有关的平均测量次数：快速－8次，中速－16次，慢速－24次源／监测功能

29310A源／测量单元（4通道）：

源／分辨率/输出范围：电压源输出范围电压输出分辨率输出电流±20V1mV±100mA±40V2mV±50mA±100V5mV±20mA电流源输出范围电流输出分辨率输出电压±100mA10uA±20V(>50mA) ±40V(>20mA) ±100V(≦20mA) ±10mA1uA ±1mA100nA ±100µA10nA ±10µA1nA ±1uA100pA ±100nA10pA ±10nA1pA ±1nA100fA ±100pA300fA

施加/测量/限制精度电压量程电压源精度电压表精度电压限制精度100V±（0.01%+5mV）±（0.06%+5mV）±（0.2%+300mV）40V±（0.01%+1mV）±（0.01%+5mV）±（1.5%+500mV）20V±（0.01%+500uV）±（0.01%+2mV）±（1%+50mV）电流量程电流源精度电流表精度电流限制精度100mA±（0.01%+5uA）±（0.01%+5uA）±（1%+500uA）10mA±（0.01%+200nA）±（0.01%+200nA）±（1%+100uA）1mA±（0.01%+20nA）±（0.01%+100nA）±（2%+10uA）100uA±（0.01%+5nA）±（0.01%+20nA）±（3%+100nA）10uA±（0.02%+500pA）±（0.02+%1nA）±（2%+50nA）1u±（0.05%+100pA）±（0.03+%100pA）±（3%+5nA）100nA±（0.08%+5pA）±（0.05+%10pA）±（2%+5pA）10nA±（0.2%+500fA）±（0.1+%10pA）±（2%+50pA）1nA±（0.5%+100fA）±（0.6+%300fA）±（4%+300fA）100pA±（3%+100fA）±（3%+300fA）±（5%+300fA）

电流／电压限制保护：

² 源／测量单元作为电压源使用时可程控对其输出电流进行限制；

² 源／测量单元作为电流源使用时可程控对其负载上的电压进行限制；

限制保护范围：

² 施加电压－电流限制：10pA 到100mA；

² 施加电流－电压限制：2V到100V；

阻抗及电容特性：

l 输出阻抗（电压源／电流监测模式）：0.4Ω；

l 输入阻抗（电流源／电压监测模式）：≥1013Ω；

l 电容性能负载：≤ 1000pF。

电压表：测量范围、分辨率、精度测量电压范围分辨率精度±1V50µV±（0.5%*读出值+2mV）±10V500µV±（0.2%*读出值+5mV）输入阻抗：1MΩ±1%。

测量功能（所有通道）

承受电压：100V（源／测量单元）

源模式（源／测量单元）：

² V（电压源／电流监测）；

² I（电流源／电压监测）。

源功能（源／测量单元）：

² 主步进；

² 从步进；

² 主同步进；

² 恒定。

每个通道电压／电流扫描步进数：

² 扫描方式下，点数为1000点；

² 时间方式下，点数为10000点。

主步进扫描类别：

² 线性扫描方式：通过设定开始值、终止值及步进值定义扫描阶梯；

² 对数扫描方式：通过设定开始值、终止值及选择对数（Log10、25、50）。

扫描阶梯：

² 主同步进扫描：与主步进扫描同步，可定义相对于主步进扫描的斜率和偏移值；

² 从步进扫描：通过设定开始值、终止值及步进点数定义扫描阶梯。每当主步进通道完成一次周期扫描时，从步进通道的步进值增加一次。

延迟时间：是指在扫描测量和时间测量工作模式下，施加和测量之间的延迟时间，用户可对首点测量时间、测量间隔进行设定。

测量模式：

² 单文件测量：任何一个用户设定的单周期测量即为单文件测量；

² 组文件测量：将多个单文件设定不同周期并组合在一起测量。

分析功能：

操作环境

操作温湿度：10℃到40℃；≦70%RH（40℃），温度变化：≦1℃／5分钟；

外形尺寸：480W x 340H x 620D（mm）；

重量：32kg。