供应热解氮化硼坩埚

热解氮化硼（PBN）是特种陶瓷材料。热解氮化硼的沉积过程，宛如“落雪”：氮化硼的六角型小雪片，一片一片的平行地落在石墨基体材料上，达到一定厚度后，***终冷却脱模而制成。 ■主要特点：材料呈白色，无毒、无孔隙、易加工。纯度高达99.99%，表面致密，气密性好。耐高温，强度随温度升高，2200℃达到值。耐酸、碱、盐及有机试剂，高温与绝大多数熔融金属、半导体等材料不湿润、不反应。抗热震性好，热导性好，热膨胀系数低。电阻高，介电强度高，介电常数小，磁损耗角正切低，并具有良好的透微波和红外线性能。在力学、热学、电学等等性能上有着明显的各向异性。■应用半导体单晶及III－V族化合物合成用的坩埚、基座：原位合成GaAs、InP、GaP单晶的LEC系列坩埚。分子束外延用的MBE系列坩埚。VGF、VB法系列坩埚。PBN/PG复合加热器涂层。石墨加热器绝缘涂层。高温绝缘流体喷嘴。MOCVD绝缘板。异形坩埚及异形石墨件涂层。晶片退火工艺用复合加热器。■规格：

类 型类 别*** 大 尺 寸坩埚类LEC8 inch

VGF8 inch

MBE8 inch

异形坩埚

板材类圆形板材8 inch

长舟8 inch

绝缘板(MOCVD)8 inch

涂层类蒸发舟

石墨加热器

PBN/PG复合加热器

■主要参数:

性能单位数值

晶格常数?ma:2.504×10-10 c:6.692×10-10

表观密度g/cm32.10－2.15(板材) 2.15－2.19(坩锅)

氦透过率cm3/s1×10－10

显微硬度(Knoop)(ab平面)N/mm2691.88

体积电阻系数Ω·cm3.11×1011

抗张强度 (力|| “C”)N/mm2153.86

抗弯强度(力|| “C”)N/mm2243.63

(力⊥ “C”)N/mm2197.76弹性模量

N/mm2235690热传导率

W/m·k“a”方向 “c”方向

(200℃)W/m·k60 2.60

(900℃)W/m·k43.70 2.80介电强度(室温)KV/mm56

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