苏州华林科纳半导体设备技术有限公司

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供应硅片腐蚀清洗台

2023年06月22日 14:57

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品牌

华林科纳

型号

CGB-XXXX—XX

用于半导体硅片腐蚀清洗，自带废气处理装置

本设备外型美观，耐酸性能好，操作方便，运行可靠，是半导体生产线理想的硅片清洗设备；由机架部分、整机部分、槽体部分、伺服系统、及机械传动部分、电气控制系统构成；工艺过程全自动，机械手在槽间转换靠PLC来控制，美国进口导轨和机械手来满足工艺时序。人机界面为触摸屏，有安全保护故障代码，故障报警，工艺时序号，方便操作、易于维护。

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