500W直流溅射电源 多功能直流溅射电源

技术指标：

供电电源要求： AC220V / 50Hz（±10%）

运行模式： 恒流、恒压、恒功率（可手动/遥控选择）

输出电压： 600V、1200可选/正、负极性可选

输出电流： 1A、0.5A

输出功率： 500W

负载调整率： < 0.14%

电源调整率： < 0.1%

短路响应时间： < 5mS

控制精度： 1% +1字 / 0.1% +1字

显示器： 双四位LED数码管

计算机接口： RS-232/485串行接口(MODBUS协议) (选配件)

定时器时间： 9999S

软启动时间： 0.1~10S

外形尺寸： 483 x 89 x 200 ( 宽 x 高 x 深 )

重量： 6.2kg (电源主机)

使用温度： 0-40℃ (电源/显示器)

湿度范围： 5%-85%RH.，不结露

产品特点：

采用先进的高频PWM开关电源控制技术、微电脑控制技术、完善的反馈控制技术及先进的电路设计技术研发设计，用于磁控溅射镀膜、等离子发生器、偏压电源，并具有如下独特功能：

1) 恒压、恒流和恒功率三种工作模式；

2) 控制精度高，可达0.1%+1字；

3) 多种多重智能保护及故障检测功能，运行可靠性高；

4) RS232或RS485通讯接口,可实现全功能遥控与遥测；

5) 20微秒高速灭弧功能，可有效抑制磁控靶的放电现象，对磁控靶及靶材具有良好的保护作用；

6) 双通道输出，可本地或遥控切换选择；

7) 软起动功能，0.1~10秒可本地或遥控设置；

8) 体积小重量轻。外形尺寸483 x 89 x 200全机仅6.2kg；

9) 定时关机功能，1~9999秒可本地或遥控设置；

10) 轻触按键+飞梭旋钮控制，操作简单、使用方便。

11) 输出电压有600V和1200V两种电压可供选择。