生产销售浮子混气系统 气氛系统 混气系统 多路混气系统

供气（混气）系统的详细介绍供气（混气）系统本供气（混气）系统可用于多种气体单一/混合连续供气系统，尤其方便多种气体的切换混合使用；气体压力和流量数据在同一平面直观可读，操作方便；每一条气体管路均有一个高压截止阀，安全可靠！本系统广泛用于CVD供气系统，气体保护烧结，气体保护退火等。

主要特点：1．本配比器适用于低压小流量,多种气体单一/混合连续供气系统。尤其是方便三种气体切换使用，而不会造成大气进入加热炉管。2．气体压力和流量数据在同一平面直观可读，外形美观、实用，操作简便。3．每一条气体管路均有一个高压截止阀，安全有保证。4．显示流量准确，可有效地控制气体消耗量。5．所有仪表及阀门的连接均采用活接头连接，便于维修拆卸。

技术参数：气路通道：4（可根据客户需求设计1-8通道）气路流量控制器采用质量流量计控制：标准量程（N2） ：200，500 SCCM准 确 度 ：±1.5%线 性 ：±0.5～1.5%重 复 精 度 ：±0.2%响 应 时 间 ：气特性 1～4 See 电特性 10 See工作压差范围 ：0.1～0.5 MPa最 大 压 力 ：3 MPa接 口 ：Φ6,1/4”显 示 ：4位数字显示工作环境温度:5~45℃高纯气体不锈钢管：Φ6外X Φ4内压 力 真 空 表 ：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格