测微仪侧位仪、测微传感器

2 测量范围：0~10 0~20 0~30 0~40 0~50（mm）

2． 栅 距：10um(100对线/毫米)，20um（50X寸线/毫米）

3． 显示分辨率：0.5um,5um，1um

4． 准 确 度：±1um, ±2um

5． 重复精度：±1个显示值

6．输出信号：相位依次相差90°幅值大于500mv二路或四路脉冲信号，无绝对参考零位

7．光 源：红外发光二极管

8．接收元件：组合光电二极管

9．工作温度：0℃~40℃

10．储存温度：-20℃~70℃

11．外形尺寸：长*宽*厚=L*42*22（mm）,L0测杆伸出长度。

测量范围 0~10 0~20 0~30 0~40 0~50

L 130 160 190 220 250

L0 23 33 43 53 63

二、使用安装

光栅测微传感器主要用于高精度测量。使用时除保证环境条件外，正确的安装与使用不仅保证测量精度，还能延长使用寿命。光栅测微传感器正确安装位置是测杆朝下或水平放置。安装固定方式有两种：①以螺钉固定，固定孔中心距为22±0.2mm。②以①15轴夹紧。安装固定后，测杆中心线垂直于被测工件。

使用时，测头接触基面，数显表清零，轻轻提起测杆，当测头接触被测工件表面时，数显表显示值就是测量值。切忌快推或快速释放测杆，以免损坏光栅或因撞击影响传感器精度。

三、故障分析处理

1．光栅测微传感器与数显表对接后，数显表不显示。故障原因：

①电源未接通（保险丝熔断）②传感器输出插头与数显表插座接触不良：上述检查仍不能排除故障，应检查数显表电路或送厂家检修。

2．接通电源数显表工作正常，推动测杆，数显表现显示不进位。故障原因：检查传感器有无输出信号，若无输出信号属传感器内部故障，送厂家检修，

3．数显表进位正常，显示数字频频闪动。故障原因：