OSAKA大阪真空全方位安装复合分子泵 TG-F系列

OSAKA大阪真空

全方位安装复合分子泵 TG-F系列

使用了脂润滑陶瓷轴承，实现了小型、轻量、低成本。

耐外部震动，耐冲击能力强，可以把分子泵搭载到可搬式设备或设备的可动部，拓展了涡轮分子泵的新应用。提供排气速度50L/s ～ 2400L/s的产品。

产品型号：

TG50F、TG60F、TG70F、TG220F、TG240F、TG350F

TG450F、TG800F、TG1100F、TG1400F、TG2400F

产品特点：全方位安装

轻巧设计

节能

迅速启动 使用破控功能可迅速停止 耐大气冲击能力强 多种通信模式 符合安全规格NRTL/SEMI-S2/CE产品应用：半导体制造・电子枪排气，离子源排气・FPD制造・表面处理，表面改质・各种电子部件的制造・分析，试验装置・管球制造，光学部件制造・加速器，放射线设施，核聚变研究・热处理・研究开发※排放腐蚀性气体时，请选择耐腐蚀性的TG-M，TG系列

技术参数：吸气口法兰VG100

CF100

ISO-R100排气速度VG/ISO-R・CF N2 (L/s)350/330VG/ISO-R・CF N2(附加金属保护网) (L/s)330/310VG/ISO-R・CF H2 (L/s)210zui大压缩比N21×108H22×103极限压力Pa/Torr<1×10-6/<7.5×10-9zui大气体流量※1N2 (sccm)500启动时间(min) 2-2.5停止时间(min)5-6.5允许辅助压力(Pa/Torr)260/2推荐辅助泵(L/min)≧80安装角度任意重量VG･ISO-R/CF(kg)4.2/6※1：辅助泵的容量是160L/min情况下的zui大容许流量[ 使用环境温度 ]极限压力保证环境温度是10～23℃。另外，容许环境温度在空冷情况下是10～32℃，水冷情况下是10～40℃。极限压力保证冷却水温在30℃以下时容许冷却水温是10～35℃。

控制器型式TC353输入电压(ACV)100-110 (±10%) / 200-230 (±10%)输入频率(Hz)50/60相数単相所需zui大电力(VA)610输出频率(Hz)750重量(kg)2.7标准附属品・输入接头 1个

・远控接插头 1个

・通信接插头1个

・使用说明书 (机身，通信)各1套