PFEIFFER普发真空多级罗茨泵ACP15

ACP 系列风冷多级罗茨泵

ACP 系列多级罗茨泵是专为压力范围从大气压力直到 3 · 10-2 hPa 的无油无粒子应用而设计的。这种风冷泵是旋片泵的优质替代品。G 版本的泵经过特别开发，是专为传输少量腐蚀性气体而设计的。建议 ACP 系列的该版本用于传输室、工艺监视系统以及离子束应用。风冷 ACP 系列的 CV 版本的水蒸汽容量可达每小时 1,000 克。其专为避免泵体内的蒸汽冷凝而设计。以标准版本为基础，已开发出多个特定版本的 ACP 泵以更好地满足特定要求，例如：无氟泵送方案，SH 和 R 版本，抗核辐射，R 版本，高价值气体的循环和回收，CP 版本。用于工业应用的 ACP 120 G 和 ACG 600 G

ACP 120 以上万台安装于全世界范围内的半导体流程泵为基础，在工业应用中也同样体现出多级罗茨泵的优势。水冷泵配有吹扫气体管路，用于轻微腐蚀性工艺或抽空冷凝介质。ACP 120 可与罗茨泵组合成不同的泵站。罗茨泵站 ACG 600 可作为装饰或工具涂层真空解决方案的完全免润滑抽真空系统的基础。紧凑型干式泵：A 100 L 和 A 200 L

紧凑型干式泵 A 100 L 和 A 200 L 是为成本节约地集成到半导体生产系统而开发的。

A 200 L 经过优化，可以满足抽空装载互锁所需严苛的频繁泵送周期。技术参数：