羽众光科技(武汉)有限公司
主营产品:泵
2023年12月23日 15:48
品牌 |
新普真空 |
规格 |
标准2``/60/3``/4``/5``/6``/8``|及对应公制|可定制 |
适用范围 |
标准5~15mm |
产品用途 |
广泛应用于工具镀,电子元器件,半导体及科研行业。 |
加工定制 |
可定制 |
材质 |
内安装/外安装 |
挡板及角度调节 |
角度调节器可选|专利电动/气动挡板可选 |
功率密度 |
Max ~10-15 W/cm2具体数值取决于靶材和电源类型 |
真空漏率 |
Helium Leak check <10-9Torrl/s |
水冷要求 |
间接水冷@20~50 ºC |
采用磁场-等离子体模拟和模块化磁路设计,使得MPC系列圆形阴极特别适合于要求快速更换磁路模块以适应不同薄膜工艺,广泛应用于工具镀,电子元器件,半导体及科研行业。
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