空气轴承平台

Ø AB25-25龙门式空气轴承平台

●龙门式空气轴承

●X向双直线电机同步驱动

●全花岗岩结构

●空气轴承整体优化设计

●高速、高精度光栅反馈装置

技术指标:

n 设计行程：250mmX250mm

n 系统分辨率：0.1或0.05µm

n 重复定位精度：0.5µm

n Zui大运行速度：800mm/s

n Zui大运行加速度：1.5G

n 负载能力：3Kg

Ø 龙门式空气轴承平台

●龙门式直线电机驱动

●封闭式气浮导轨

●全花岗岩结构

●空气轴承整体优化设计

●高速、高精度光栅反馈装置

技术指标:

n 设计行程：750mmX500mm

n 系统分辨率：5um~0.01um

n 重复定位精度：0.5µm

n Zui大运行速度：1000mm/s

n Zui大运行加速度：2G

n 负载能力：100Kg

Ø AB-1V单轴气浮平台

技术指标：

●外形尺寸：250X130X140mm

●设计行程：70mm

●定位分辨率：1μm或0.5μm

●重复定位精度：2μm

●矩形空气轴承，直线电机驱动

●预留试验装置安装接口

Ø SKM-5多轴伺服数控平台

系统主要构成：

n 直线电机驱动X、Y直线轴

n 力矩电机直接驱动回转工作台

n 高速电主轴

n 多轴数控系统

n 精密光栅尺反馈

n 其它伺服轴

技术指标：

n 直线运动轴定位精度：15µm

n 回转运动轴定位精度：0.01º

n 回转角度：Theta360º，Theta1±50º

n Zui大进给速度：60m/min

n 主轴Zui高转速：20000rpm