锐峰先科技术有限公司北京公司
主营产品:
2023年07月01日 15:22
型号 |
SVS-V2000 |
加工定制 |
否 |
SVS-V2000 溅射台(北京,上海,深圳,成都,西安均有分公司提供服务)
主要功能:
用于半导体工业生产和实验室样品制备时,电介质膜和其他半导体膜的蒸镀工艺。
主要特点:
1 腔体尺寸:600mm-1200mm(或客户化定制);
2 可单片或多片同时进行;
3 样品台可以行星/旋转/直线等方式运动;
4 镀膜速率等参考可控,可对样品在蒸镀过程中进行实时监测;
5 通过反应气体来产生氧化物和氮化物等;
6 全自动的系统。
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