专业建造特种陶瓷基板烧结炉 氮化硅基板 氮化铝多层 氮化铝 透明氧化铝

1. 开炉取料型式：卧式前后出料 2. 主要技术参数 名称 参数 说明 有效热场区域 mm 恒温箱内尺寸 mm 恒温框内有效放料尺寸 加热器 钨丝网 六面加热无死角 隔热屏材料 W+Mo复合屏 7Mo+3W 最大装炉量 600Kg 前后出料或者单开门 最高温度 2000℃ 工作温度 1850℃ 1500度多层多点测温 加热功率 450KVA 升温速率 0~10℃/min（可调） 控温精度 ±1 ℃ 极限真空度 5pa 工作真空度 2000pa 压升率(检漏) 0.3pa/h 工艺气氛 氢气/氮气/湿氢 三气路质量流量计 炉内压力 0.03mpa