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敏感度：5x10-15 atm cc He/s；漏率测量范围：1x10-6-5x10-15atm cc He/s；粗抽泵：5.4m3/h双击直联真空泵；高真空泵：pfeiffer hipace80 抽速67L/s；国内第一家能够生产检漏仪检测灵敏度；达到10-15Pa.m3/s的制造厂商。

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