博远微纳 SD-650MHT 高真空双靶磁控溅射镀膜仪 厂家可定制

SD-650MHT双靶参数：

品牌 北京博远微纳科技有限公司

型号 SD-650MHT

仪器主机尺寸: 长610mm×宽420mm×高220mm（注：含腔体总高490mm）

工作腔室尺寸： 金属腔体：直径260mm×高500mm（外尺寸 ）

直径210mm×高270mm（内尺寸）

靶头： 双靶

靶材尺寸： 直径50mm×厚3mm（因靶材材质不同厚度有所不同）

靶材料： 标配一块直径50mm×3mm的铜靶及直径50mm×3mm的铝靶

靶枪冷却方式： 水冷

极限真空度: 5×10-5Pa（10分钟可到5×10-3Pa）

电源： 直流恒流电源：输入电压：220V

输出电压：0-600v

输出电流：0-1.6A

射频电源和匹配器：功率500W。

载样台： 直径200mm

工作气体： Ar等惰性气体（需自备气瓶及减压阀）

气路： 气路可以通过电磁流量阀与手动阀联动控制。

水冷： 自循环冷却水机

膜厚仪 实时监测，触摸屏控制 可镀材料： 铁电薄膜、导电薄膜、合金薄膜、半导体薄膜、陶瓷薄膜、介质薄膜、光学薄膜、氧化物薄膜、硬质薄膜、聚四氟乙烯薄膜等

电源电压： 220V 50Hz

启动功率 3KW

【SD-650MHT 安装 / 使用 环境】

选择一个合适的仪器摆放位置：

1、放置SD-650MT高真空磁控镀膜仪在一个长130cm,宽60cm的平面桌子上（桌子的承重需要在200KG以上）；

2，放置“外置 旋转机械真空泵”及“冷水机”在一个合适的位置（地面 / 靠近镀膜仪主机）；

3，系统总重量（镀膜仪、电器柜、选装泵、冷水机）约为208~240KG（选配不同），请确保有4人一起移动 / 搬运仪器；

4，仪器的使用 / 运行环境温度为15~25摄氏度，相对湿度不超过75%；

5,为仪器提供一个220V，16A的空开。

6，确保使用 / 运行环境有足够的通风，并且避免阳光直接照射到仪器。

7，氩气和氩气瓶解压阀需自备。