其他非金属矿物制品

一、产品说明 本品采用新型纳米功能材料生产工艺，制备球形纳米氧化铈，通过高分子表面活性剂对纳米粉体表面改性，使产品具有流动性好、不易沉淀和聚结成块、悬浮性能好、无毒、抛光速率快、硅片表面质量好以及利于清洗。 二、 应用领域 本品适用于DSTI-CMP、集成电路光掩模、高精密光学仪器、光学镜头、液晶显示屏、多芯光纤连接器、微晶玻璃基板、光学晶体表面等方面的精密抛光。 三、产品指标 外观为乳白色浆料，固含量30%，PH值为9～10。磨料为球形二氧化铈，CeO2/REO≥99.9%，粒径为10-30nm, 比表面积：110～150m2/g ， 四、包装 1L/瓶、5L/瓶、20L/瓶，或据客户要求。 五、注意事项 1、以防少许沉淀，建议使用前先摇匀。 2．使用时，根据不同行业的需要可用纯水加以稀释，调制不同浓度。 储存：本品需在0℃以上储存，防止结块失效。 六、研磨实验： 日本产的NF-300型高精度智能抛光机、美国Zygo公司的Zygo-5032型表面粗糙度仪。研磨底盘转速65r/min，抛光液的流速为20ml/min压力10psi ，抛光10min的硅片抛光效果实验。