日本KOFLOC 质量流量控制器 型号3660系列

产品介绍

型号3660系列质量流量控制器设计精密，成本较低。广泛用于不同的领域，从实验室和研究开发项目到各种分析仪器、真空装置的标准采用机种，发挥了很好的实际效果。各种衍生的型号和附属品可选。

特点

□通过采用改良型恒定电流温度差检测方式流量传感器，实现快速回应。

□通用的常闭型阀门确保了安全

□使用电磁执行器保证了高效的可靠性

□低差压类型控制适用于燃烧的气体（LP可选）

技术指标

F.S.量程(N2换算) 10SCCM-20SLM(30SLM-100SLM)

阀门种类 常闭电磁阀

控制范围应答性精度重复性 2%-100%F.S.（5%-100%F.S.）

设定±2%F.S.至2秒以内（标准） ±1.5%F.S.以内（±2%F.S.以内） ±0.5%F.S.以内 压力耐压 980kPa

压力操作差压 F.S.≤5SLM 49kPa-294kPa；

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