EX-3000 手動測量台/测量台/测量台试验机

壹. 螢光X線控制部:X線源:油浸式小型微小焦點X線管.50KV管電壓，可變管電壓。照射方式：由上而下垂直照射方式。檢出器：比例計數管。濾波器：採用Co和Ni雙濾波器及數位式濾波器，可單一或同時使用。準直儀：Collimator採用五種孔徑一體成型式，可自動切換使用。 0.1, 0.2, 0.5, 1.0, 2.0ψ㎜.

(選購)0.05×0.5, 0.05, 0.1, 0.2, 0.5ψ㎜.

(選購)0.05, 0.1, 0.2, 0.3, 0.5ψ㎜.樣品觀測系統：彩色CCD及高畫質顯示幕。多能譜分析器：使用256高頻分析器，光譜自動分析，在執行測量及運算時，非常快速。貳. 電腦操作部:

8.電腦系統：(※僅供參考)

w 主板：華碩P4PE. 顯卡：GF4 Mx 64M.

w CPU：C4 2.4. 軟驅：sony1.44.

w 內存：HY 256M. 機箱：豪華機箱+P4電源.

w 硬盤：金鑽40G. 鍵盤鼠標：光電套裝.

w 光驅：LG 52X. PowerPCI控制卡.

w HPC 17"液晶彩顯.

9.印表機：CanonIP/1000印表機。

10. 本機型(EX-3000系列)之操作系統採中文視窗(Windows98)對話式操作，非常簡便。

參. 特性說明:

11. 測量項目：

w 單層膜厚測定.

w 2層膜厚測定.

w 3層膜厚測定.

w 合金膜厚成份比同時測定.

w 化學鎳膜厚測定.

w 壓鑄鋅底材上鍍銅、鎳二層膜厚同時測定.

w 元素的光譜峰值測定分析.

12. 測量材質：原子序22(Ti) ~ 82(Pb)為激發法測量。 原子序22以下為吸收法測量。

13. 測量範圍：原子序22 ~ 24， 約0.2 ~ 20 um. 原子序25 ~ 40， 約0.1 ~ 30 um. 原子序41 ~ 51， 約0.2 ~ 70 um. 原子序52 ~ 82， 約0.05~ 10 um.

14. 測量機能：

w 同一點重複測定機能

w 輸出形式設定.

w 能譜測定.

15. 測量條件或膜厚規格可以保存.

當要測量相同圖樣軌跡的製品時，若測量條件已儲存時，可以馬上進行測量。

檢量線檔案數：可登錄儲存100組檔案。

測量檔案數 ：可登錄儲存300組檔案。

16. 檔案記錄：

w 每一個批號可儲存無限個測量資料.(因各型電腦之容量大小而定)

w 每一個測量檔案可輸入及儲存公司名稱.

w 每個批號可單獨執行統計處理.

w 每個測量檔案可輸入不同的檢量線(校正曲線).

w 每個測量檔案可輸入統計處理方式.資料處理：w 統計值表示：平均值、標準偏差、值、最小值、上下限值範圍、Cp、Cpk。

w X-R管制圖.

w 柱狀圖：有自動設定及自己任意設定二種方式。

w 測量資料輪廓剖面分佈圖。

w 測量資料三次元輪廓剖面分佈圖。

w 可彩色列印觀物顯示幕上所觀測之圖像。底材補正：當樣品與標準片的底材不同時，可作底材補正。19. 觀物顯示幕：十字刻度線的高解析度彩色觀物顯示幕。

肆.安全裝置.本機俱有自動安全斷電系統功能.由鎖匙開關來控制X線輸出，以防止外人任意操作.伍.其他機能.密碼辨識功能.裝置維護調整.陸.設備尺寸：測定部：外觀尺寸：602(W)×463(D)×732(H)㎜.重 量： 約55 Kg. 操作部：(※僅供參考) w 電腦主機尺寸：180(W)×420(D)×360(H)㎜.

重量：約8.8 Kg.

w 顯示幕尺寸：360(W)×420(D)×370(H)㎜.

重量：約16.5 Kg.

w 印表機尺寸：500(W)×250(D)×300(H)㎜.

重量：約4.3 Kg.測量樣品限制. 樣品限制高度： 150㎜

樣品限制重量： 3 kg.

柒. X-Y-Z軸可移動式測量台.測量台尺寸及移動量.測量台尺寸 170×110 mm，

移動量(X-Y-Z軸) 70×70×50㎜.

捌.使用電源.電壓:AC100V±10V；50/60Hz(選購)AC110V，AC220V.測定主機容量操作主機容量