日本Mitutoyo/三丰CS-5000CNC带有视像测头的CNC形状测量机

• 高精度触针型CNC表面测量仪可以同时进行表面粗糙度和形状/轮廓的测量。• X1轴和Z2轴的驱动速度分别为40mm/s和200mm/s，可以高速定位，从而提高了多重轮廓/多工件测量的效率。• X1 轴和Z1 轴上装有三丰激光全息光栅尺，从而可以实现高分辨力的轮廓/ 形状测量、表面粗糙度的批量测量。• Z1轴检出器采用主动控制方式，减少Z1轴动态测力变化的同时扩展了测量范围。• Z1轴检出器集成了防碰撞安全装置，当仪器主体与工件或夹具发生碰撞时，检测装置可以自动停止工作。• CS-5000CNC带有a轴，可以通过电动旋转X1轴连续测量水平面和倾斜面。• 带有Y轴工作台的型号，可沿Y轴进行多工件定位，从而增加了多工件测量范围。• 可选的外部控制功能(外部I/O)，与PLC实现双向通信(RS-232C)。

规格

货号CS-5000CNC CS-H5000CNCX1 轴测量范围200mm 分辨力0.00625μm 长度基准激光全息测微计驱动速度CNC型40mm/s 操纵杆0 - 40mm/s测量速度 0.02 - 0.2mm/s (表面粗糙度), 0.02 - 2mm/s (形状/轮廓)测量方向向前/ 向后 直线度(使用标准测针) (0.1+0.0015L)μm L: 驱动长度 (mm) (0.05+0.0003L)μm L: 驱动长度 (mm)(使用二倍长型测针)(0.2+0.0015L)μm L: 驱动长度 (mm)(0.1+0.0015L)μm L: 驱动长度 (mm) 精度 (20oC)±(0.3+0.002L)μm L: 驱动长度 (mm) ±(0.16+0.001L)μm L: 驱动长度 (mm)Z1 轴 (检出器)测量范围(使用标准测针) 12mm12μm(使用二倍长型测针) 24mm24μm分辨力(使用标准测针) 0.004 μm0.001 μm(使用二倍长型测针)0.008 μm0.002 μm测针针尖垂直运动 弧形移动长度基准 激光全息测微计精度 (20oC)(20oC) ±(0.3+|0.02H|)μm H: 测量高度 (mm) ±(0.07+|0.02H|)μm H: 测量高度 (mm)测力(使用标准测针) 4mN (固定)(使用二倍长型测针) 0.75mN(固定)跟踪角度向上: 60o, 向下: 60o, (根据表面粗糙度)测针针尖形状标准测针针尖角度: 40o, 针尖半径: 5μm, 金刚石针尖 标准球头测针球头针尖半径: 0.25mm, 蓝宝石 2倍测针 2倍测针针尖角度: 40o, 针尖半径: 5μm, 金刚石针尖 2倍测针- 针尖角度: 60o, 针尖半径: 2μm, 金刚石针尖 2倍球头测针2倍球头测针球头针尖半径: 0.25mm, 蓝宝石 测针方向 向下Z2 轴 (立柱)行程范围Z2 轴 (立柱, S 型)300mmZ2 轴 (立柱, H 型)500mm-分辨力0.05μm长度基准反射型线性编码器驱动速度CNC型 200mm/s 操纵杆 0 - 50mm/s 基座尺寸 (W×D) 750×600mm基座材料花岗岩 注:虽然天然石材测量桌的外观各有不同，但材料的稳定性是值得信赖的。