青岛优百宇真空设备股份有限公司
主营产品:
2023年06月26日 09:38
'青岛优百宇工贸有限公司是一家专业从事各种高真空离子镀膜设备制造销售,PVD镀膜加工,真空附件销售和各种新旧设备的升级改造为一体的高科技企业,本公司可根据用户需求配置多弧靶,旋转磁控靶,中频孪生溅射靶,非平衡磁控溅射靶及柱弧,大平面弧等,可实现一室多靶,并可以选配先进的微机自动控制系统,全过程实现自动化控制。
主要靶材:金,银,铬,钛,钛铝,锆,镍,不锈钢及高纯墨靶,硅,三氧化硅,氧化铝,氮化物,硼化物等非金属陶瓷靶;颜色:包括金色系列,银色系列,黑色系列和彩色系列;应用范围:硬质膜,装饰膜,金属膜,导电膜,金属与非金属材料表面。
本公司秉承“顾客至上,精益求精”的经营理念,坚持“客户第一”的原则为广大客户提供优质的服务。
型号LZ-1000LZ-1200LZ-1300LZ-1600LZ-2100LZ-2300真空室尺寸Ф1000×H
1000mmФ1200×H
1300mmФ1300×H
1300mmФ1600×H
1800mmФ2100×H
3600mmФ2300×H
4500mm电源类型脉冲偏压电源;弧电源(可根据客户要求加配不同电源)真空室结构立式双开门、立式前开门结构、后置抽气系统真空室材质SUS-304优质不锈钢材质腔体极限真空8.0×10-4Pa8.0×10-4Pa8.0×10-4Pa8.0×10-4Pa8.0×10-4Pa8.0×10-4Pa抽气速率从大气抽至6.7×10-3Pa用时8到15分钟(室温空载洁净)真空获得系统扩散泵+罗茨泵+机械泵+维持泵(具体型号可根据客户的要求进行配置)多弧靶数量488163645转架转动系统行星式公自转、变频调速(可设定上下转架,轴数可由实际情况而定)工艺气体质量流量控制仪(3-4路),手动或自动加气系统冷却系统水循环冷却系统。另需配冷却水塔或工业冷水机或深冷系统(客户提供)控制方式手动或PLC+触摸屏操作报警及保护水压报警,气压报警,过流保护,执行相应保护措施及电气联锁功能。设备占地面积W3m×
L3.5mW3.5m×
L5mW3.5m×
L5mW4.5m×
L5.5mW4.5m×
L11mW5m×
L12m其他技术参数水压≥0.2MPa,水温≤25℃,气压0.5-0.8MPa备注具体配置大小均可根据客户的镀膜产品要求进行设计。另可加配直流磁控电源和中频电源满足不同镀膜工艺要求。可定制的真空室尺寸范围Ф500-3000mm,高度500-7000mm。'
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