青岛优百宇真空设备股份有限公司
主营产品:
2023年08月19日 15:38
'
型号CK-700CK-900CK-1000CK-1250CK-1400CK-1600真空室尺寸
Ф700×H
900mmФ900×H
1100mmФ1000×H
1200mmФ1250×H
1350mmФ1400×H
1600mmФ1600×H
1800mm电源类型脉冲偏压电源、直流磁控电源真空室结构立式双开门、立式前开门结构、后置抽气系统真空室材质SUS-304优质不锈钢材质腔体极限真空8.0×10-4Pa8.0×10-4Pa8.0×10-4Pa8.0×10-4Pa8.0×10-4Pa8.0×10-4Pa抽气速率从大气抽至6.7×10-3Pa用时8到15分钟(室温空载洁净)真空获得系统扩散泵+罗茨泵+机械泵+维持泵(具体型号可根据客户的要求进行配置)磁控靶类型平面磁控靶,圆柱形磁控靶偏压电源功率25KW25KW30KW30KW40KW40KW转架转动系统行星式公自转、变频调速(可设定上下转架,轴数可由实际情况而定)工艺气体质量流量控制仪(3-4路),手动或自动加气系统冷却系统水循环冷却系统。另需配冷却水塔或工业冷水机或深冷系统(客户提供)控制系统手动或PLC+触摸屏操作报警及保护水压报警,气压报警,过流保护,执行相应保护措施及电气联锁功能。设备占地面积W3m×
L3.5mW3m×
L3.5mW3.5m×
L5mW3.5m×
L5mW4.5m×
L5.5mW4.5m×
L5.5m其他技术参数水压≥0.2MPa,水温≤25℃,气压0.5-0.8MPa备注具体配置大小均可根据客户的镀膜产品要求进行设计。
可定制的真空室尺寸范围Ф500-3000mm,高度500-3000mm。'
联系方式